半導体製造クリーンルームにおけるHEPA/ULPAフィルターの管理手法を解説した資料。従来の「年数ベース」交換から、JIS B 9927改訂を踏まえた「データドリブン」寿命管理への移行を提示する。圧力損失・パーティクル計数値・走査漏れ試験の3指標を軸とした判断基準、設備・調達・品質の連携による8項目チェックリスト、TCO最適化フレームを収録。過剰交換と歩留低下の同時回避を目指す設備技術者・調達・品質保証担当者向け。